Estudio de películas delgadas de sulfuro de zinc (ZnS) por el método de depósito por láser pulsado (PLD) para su posible aplicación a dispositivos electrónicos

Abstract

Tesis de maestría en nanotecnología. El sulfuro de zinc (ZnS) es un material semiconductor perteneciente a la familia de los calcogenuros (grupos II-VI). El ZnS ha sido depositado por diferentes métodos como deposición por baño químico (CBD), crecimiento epitaxial por haces molecular (MBE), capa atómica epitaxial (ALE), sol-gel, bombardeo atómico por magnetrón de radio frecuencia, y deposición por vapor químico metal -orgánico (MOCVD) y deposito por láser pulsado ( PLD). El método de depósito por láser pulsado, ha emergido como una técnica atractiva para la fabricación de nanoestructuras bien definidas y morfologías superficiales de varios materiales, que permiten controlarlas dimensiones y la fase cristalina mediante la variación de los parámetros del láser y las condiciones de depósito. En este trabajo, se llevó a cabo el estudio de películas delgadas, de ZnS y co-depósitos de ZnS con sulfuro de indio (I n2 S3), en sustratos de vidrio y silicio cristalino, depositadas por el método de depósito por láser pulsado (PLD).